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Silicon Nitride *Si₃N₄
「 특성 」
- 강한 공유결합으로 이루어져 있는 질화물 계열의 세라믹으로서 내마모성, 내식성, 인성이 뛰어나며, 특히 내열충격성과 고온에서의 기계적 강도가 뛰어나다.
「 용도 」
- Pin-Chuck, 열처리용 Jig, Turbo Charger Rotor, 용접용 Location Pin, 반도체공정부품 등 가혹한 공정에서 주로 사용된다.
